ISRC 서울대학교 반도체공동연구소

E-beam 공정접수

Requests

사용의뢰

E-beam 작업의뢰서를 의뢰서 작성 방법(필독)을 참고하여 상세히 기재한 후 김현영 조교 또는 지상엽 담당자에게 GDS File과 함께 E-mail로 의뢰하시면 됩니다.
작업순서는 작업의뢰서와 작업의뢰 파일이 확인된 후, 의뢰 순서대로 작업이 진행됩니다.

Layout Data 준비

CAD Tool을 이용하여 Layout Data를 준비.(MyCAD,Cadence Layout)가능

Layout data를 GDSⅡ format으로 변환하여,의뢰서와 함께 E-mail로 전송

Layout은 반도체공동연구소 내에서는 Cadence Layout tool을 사용하실 수 있으며,전산장비를 사용하시기 원하는 이용자는 전산장비사용신청서를 작성하셔서 정보화 팀장(이은경 880-5449 eklovelee@snu.ac.kr)에게 문의하시면 됩니다.
Layout을 처음하시는 분은 Cadence Virtuso Layout 툴의 Quick Manual를 참조하시면 됩니다.

Quick Manual

장비담당자

- 지상엽팀장 Tel. 880-5458 | E-mail. syj@snu.ac.kr